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晶圓機械手適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型麵板/太陽能板)LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。在半導體製造流程中 ,晶圓機械手能夠參與的步驟有很多,蝕刻、清洗晶圓檢測等步驟,都會用到晶圓機械手。而晶圓機械手處處透著高科技的感覺,裏麵究竟是什麽結構呢?

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